티타늄 스퍼터링 타깃은 반도체 산업에 사용했습니다
티타늄 스퍼터링 타깃은 넓게 실리콘 웨이퍼 위의 박막 증착을 위한 반도체 산업에서 사용됩니다. 얇은 필름은 트랜지스터와 다이오드와 집적 회로와 같은 마이크로 전자 장치의 제조에서 사용됩니다. 티타늄 스퍼터링 타깃이 반도체 산업에서 사용된다는 약간의 특정한 방식이 여기 있습니다 :
게이트 전극 : 티타늄 스퍼터링 타깃은 금속 산화물 반도체 전계 효과 트렌지스터 (MOSFETs)에서 게이트 전극을 만들기 위해 실리콘 웨이퍼 위에 티타늄의 얇은 필름을 맡기는데 사용됩니다. 이러한 게이트 전극은 MOSFET에서 전류의 흐름을 통제한 것을 사용됩니다.
내부연락 : 티타늄 스퍼터링 타깃은 집적 회로에서 내부연락을 만들기 위해 실리콘 웨이퍼 위에 티타늄의 얇은 필름을 맡기는데 사용됩니다. 이러한 내부연락은 집적 회로의 다른 구성 요소를 연결시키는데 사용되고, 그들의 운영에 필수적입니다.
확산 방지 : 티타늄 스퍼터링 타깃은 집적 회로에서 확산 방지를 만들기 위해 실리콘 웨이퍼 위에 질화 티탄 (TiN)의 얇은 필름을 맡기는데 사용됩니다. 이러한 확산 방지는 실리콘 안으로 금속 이 확산을 방지하는데 사용되며, 그것이 집적 회로의 성능 저하와 실패를 야기시킬 수 있습니다.
에치 마스크 : 티타늄 스퍼터링 타깃은 에치 마스크를 만들기 위해 실리콘 웨이퍼 위에 티타늄의 얇은 필름을 맡기는데 사용됩니다. 에치 마스크가 익숙한 이것들은 식각 공정 동안 실리콘 웨이퍼의 특정 지역을 보호하며, 그것이 집적 회로에서 특정패턴과 한국식을 만드는데 사용됩니다.
개요에서, 게이트 전극, 내부연락, 확산 방지와 에치 마스크를 포함하여 티타늄 스퍼터링 타깃은 반도체 산업에 필수 재료이고, 적용의 넓은 범위에 대해 사용됩니다.